MEMS

Миниатюризацията и икономически ефективните производствени възможности, които преди не бяха възможни, сега са реалност в индустрията. Независимо от това, пазарно достъпните МЕМС затъпват само една малка част от областите на приложение, в които МЕМС имат голям потенциал. Сложното и високотехнологично естество на МЕМС, изследванията и развитието (R&D), комбинирано с липсата на стандарти в области като конструиране, производство и тестови методики, превръщат създаването и поддръжката на МЕМС R&D програма в технологично предизвикателство.

За да се осигури надеждно реализиране на работните характеристики на микроструктурите, инженерите, разработващи МЕМС, трябва да разчитат на МКЕ симулации, определящи напрежения, деформации, резонанс, температурни разпределения, електромагнитни и електрически свойства и параметри на флуидният поток (CFD). Термалните и CFD анализи могат да подпомогнат определянето на нагряването на твърди тела и флуиди в МЕМС обектите, които се ползват в електронни вериги. Чрез електромагнитният анализ, инженерите могат да пресметнат сили, активирани от електрическо и магнитно поле, необходими за малки устройства. Информационната (IT) и автомобилната индустрия дълго време бяха развиващи се пазари за МЕМС сензорите, както е показано на фигурата по-долу. Например, съвременните високотехнологични автомобили имат вградени до 100 вида различни сензори. Приблизително 30 от тях са МЕМС продукти. Пазарът се формира от сензори за ускорение, жироскопи, уреди за измерване на наклон, а също така и сензори за налягане и дебит. Нови приложения включват инфрачервени сензори за качество на въздуха, микроскенери за дисплеи, а също така и МЕМС-осцилатори и системи за рекуприране на енергия.

Фигурата по-долу онагледява ръстът на МЕМС в индустрията за 2006г и стойностите, които се прогнозира да достигне 2011г: